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Effects of the Size of Charged Nanoparticles on the Crystallinity of SiC Films Prepared by Hot Wire Chemical Vapor Deposition

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Daseul Kim, Du-Yun Kim, Ji-Hye Kwon and Nong-Moon Hwang

Revista: Coatings Formato: Electrónico

Tabla de contenido: Vol: 10 Num: 0 Par: 8 Año: 2020

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