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Actuators

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Inicio / Actuators / Vol: 7 Núm: 3 Par: Septemb (2018) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

The Effects of Structure Thickness, Air Gap Thickness and Silicon Type on the Performance of a Horizontal Electrothermal MEMS Microgripper

Marija Cauchi

Ivan Grech

Bertram Mallia

Pierluigi Mollicone and Nicholas Sammut

Resumen

-

Acceso

PÁGINAS

NÚMERO

Volumen: 7 Número: 3 Parte: Septemb (2018)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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DOI

https://doi.org/10.3390/act7030038

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